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背景技術：


氮氣柜或惰性氣體柜廣泛用于半導體、太陽能、貴金屬、微電子、SMT產線等行業(yè)，用于存放防氧


化的零部件，其原理是將柜體內的空氣通過氮氣的充入進行置換，藉以降低柜體內的氧氣含量，


達到防氧化的目的。現(xiàn)有的氮氣柜或惰性氣體柜是在柜體上設一充氣口，經管路連通至氮氣瓶或


者惰性氣體瓶或液氮罐，氮氣源的供應完全取決于氮氣瓶，使用不方便，液氮罐造價昂貴,尤其是


在一些偏遠的地方，需要配置大面積的儲放空間來放置預存的氮氣瓶，占地面積大，不易管理；


另一方面，現(xiàn)有的氮氣柜由于設計的不合理性使用過程中會造成氮氣的泄漏浪費，使用成本高。




技術實現(xiàn)要素：


為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種自制氮氮氣柜，匹配氮氣儲物柜配置微型制氮裝置


，隨用隨開，無需配置氮氣瓶或液氮罐的昂貴投資，減少設備的使用占地面積，安裝使用方便、


能耗低，獲得相同除濕儲物效果的同時能夠節(jié)約50％左右的氮氣耗氣量，降低設備使用成本。


為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：一種自制氮氮氣柜，包括氮氣儲物柜，其特征在


于：其還包括節(jié)氮控制器和氮氣發(fā)生器，所述節(jié)氮控制器和氮氣發(fā)生器兩者均設置在氮氣儲物柜


上，


-所述氮氣發(fā)生器，其用于產生純度為95％～99％的氮氣，其包括壓縮空氣預處理裝置和變壓吸附


裝置，所述變壓吸附裝置具有氮氣輸出端；


-所述節(jié)氮控制器，其包括控制執(zhí)行器、進氣管、出氣管和電磁閥；


-所述電磁閥，其具有進氣口、出氣口和第二出氣口；


-所述進氣管的一端連接氮氣輸出端，其另一端連接進氣口，所述進氣管上設有節(jié)流閥和壓力表；


-所述控制執(zhí)行器控制連接電磁閥，使得所述電磁閥在出氣口和第二出氣口兩者中自動切換的


選擇其中之一與所述出氣管連接，所述出氣口、第二出氣口兩者中的一個與出氣管連接的管


路上設有流量計，所述出氣管連接氮氣儲物柜；


-所述控制執(zhí)行器，其控制連接壓縮空氣預處理裝置和變壓吸附裝置。


本實用新型一個較佳實施例中，進一步包括所述壓縮空氣預處理裝置處理自然空氣為干燥的壓縮


空氣，其包括空壓機、儲氣罐和順次連接的油水分離器、冷凍干燥機、除油過濾器，所述壓縮空


氣預處理裝置的各部件之間均通過管路連接，兩兩連接的管路上均設有控制閥，所述控制執(zhí)行器


控制連接控制閥。


本實用新型一個較佳實施例中，進一步包括所述變壓吸附裝置包括消聲器、氮氣罐、選通進氣閥


、選通出氣閥，以及并聯(lián)的碳分子篩吸附塔一和碳分子篩吸附塔二；


所述碳分子篩吸附塔一和碳分子篩吸附塔二兩者均具有壓縮空氣進氣口、氮氣出氣口和解吸排氣


口，兩所述解吸排氣口均通過帶排氣閥的管道連接消聲器；


所述壓縮空氣預處理裝置輸出的壓縮空氣經進氣管道連接至碳分子篩吸附塔一和碳分子篩吸附塔


二兩者的壓縮空氣進氣口，所述進氣管道上設有選通進氣閥，所述選通進氣閥控制壓縮空氣進入


碳分子篩吸附塔一或者碳分子篩吸附塔二兩者中的一個；


碳分子篩吸附塔一和碳分子篩吸附塔二兩者的氮氣出氣口通過出氣管道連接氮氣罐，所述出氣管


道上設有選通出氣閥，所述選通出氣閥選擇碳分子篩吸附塔一或者碳分子篩吸附塔二兩者中的一


個與氮氣罐連通；


所述控制執(zhí)行器控制碳分子篩吸附塔一和碳分子篩吸附塔二兩者的吸附壓力和吸附時間、解吸時


間；


所述控制執(zhí)行器控制連接選通進氣閥和選通出氣閥。


本實用新型一個較佳實施例中，進一步包括所述氮氣儲物柜內設有氮氣濃度檢測器和濃度超限報


警器，所述控制執(zhí)行器控制連接氮氣濃度檢測器，所述控制執(zhí)行器根據(jù)氮氣濃度檢測器反饋的氮


氣儲物柜內氮氣濃度值控制啟動或者關閉濃度超限報警器。


本實用新型一個較佳實施例中，進一步包括所述氮氣儲物柜內設有濕度檢測器，所述濕度檢測器


電連接至控制執(zhí)行器，所述控制執(zhí)行器根據(jù)濕度檢測器的反饋控制連接電磁閥，使得所述電磁閥


在出氣口和第二出氣口兩者中自動切換的選擇其中之一與所述出氣管連接。


本實用新型一個較佳實施例中，進一步包括所述電磁閥為24V啟動電壓下的兩位三通電磁閥。


本實用新型一個較佳實施例中，進一步包括所述氮氣儲物柜的柜門上設有感應開關，所述感應開


關電連接至節(jié)氮控制器，所述節(jié)氮控制器根據(jù)感應開關的反饋啟停所述控制執(zhí)行器，使得氮氣儲


物柜的柜門開啟時切斷對氮氣柜內供氣，保護操作者的安全。


本實用新型的有益效果是：


其一、本實用新型的自制氮氮氣柜，匹配氮氣儲物柜配置微型制氮裝置，隨用隨開，無需配置氮


氣瓶，減少設備的使用占地面積，安裝使用方便、能耗低，設備整體由節(jié)氮控制器統(tǒng)一集成控制


，實現(xiàn)真正意義上的全自動控制；


其二、優(yōu)化結構設計的節(jié)氮控制器，使得充入氮氣箱內的氮氣壓力、流量可調可控，箱內全高度


方向氮氣充盈均勻，氣壓穩(wěn)定，杜絕氮氣泄漏問題，獲得相同儲物效果的同時能夠節(jié)約50％左右


的氮氣耗氣量，降低設備成本；


其三、優(yōu)化結構設計的氮氣發(fā)生器，制備工藝流程簡單，結構外形簡潔，占地面積小，開機10分


鐘即可獲得純度在95％-99％范圍內的氮氣，能耗低，運行費用少。




  自制氮氮氣柜設備根據(jù)應用要求，可配置不同的控制功能。被廣泛應用在微電子，半導體等行


業(yè)。
      特點：
      一、顯示方式：進口組件顯示器,溫濕度同時顯示，直觀明確,性能穩(wěn)定。
      二、柜體結構：氮氣柜專用密閉柜體，專業(yè)設計氣密性佳，存放重物不變形。附腳輪及支


架方便移動及定位。多層防銹烤漆處理，防腐性強，耐磨且不易脫落，鋼板厚度1.0MM。
      三、配件氮氣柜專用鋼制隔板三塊，存放重物更安全。
      四、氮氣節(jié)約裝置：采用微電腦自動感應控制,搭配客戶氮氣使用,濕度超過設   定值后,


會自動噴入氮氣,當濕度達到設定值后,自動停止。
      分類：
      1、普通型自制氮氮氣柜：有箱體，密封門，流量儀，可調節(jié)活動層板，腳輪支腳組成，棱


角清晰，外觀亮麗。可根據(jù)客戶不同要求定制。
      2、控制型氮氣柜：在普通型氮氣柜的基礎上裝控制儀表，能夠更好的節(jié)約氮氣和更加直觀


了解柜內環(huán)境。自動化設計能大大降低運行成本。可根據(jù)客戶不同要求定制。
      3、透明自制氮氮氣柜：柜體框架采用不銹鋼鏡面板制作，四周鑲透明玻璃，外觀明亮，能


直觀了解柜內物件現(xiàn)狀，層板可調設計存儲大小不同物件，也可配置成控制型氮氣柜，可根據(jù)客


戶不同要求定制。